一、按真空获得的方法

二、按真空泵用途

• 主泵(Main pump):在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵；
• 粗抽泵(Roughing vacuum pump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵；
• 前级泵(Backing vacuum pump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵；
• 维持泵(Holding vacuum pump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度；
• 粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵；
• 高真空泵(High vacuum pump):在高真空范围工作的真空泵；
• 超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump):在超高真空范围工作的真空泵；
• 增压真空泵(Booster vacuum pump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。