2010年07月29日 22:40:50
真空系统的基本组成

如下图所示，真空系统有下列组件构成：

  • 1 真空室
  • 2 高真空泵（主泵）
  • 3 预抽泵
  • 3 a前级泵
  • 4 高真空阀门
  • 5 低真空阀门
  • 6 前级管道
  • 7 放气阀
  • 8 低真空计
  • 9 高真空计

 

 
 

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